名稱:S?ntis 300 全晶圓定量陰極發(fā)光CL-SEM系統(tǒng)
品牌:Attolight
產(chǎn)地:瑞士型號:S?ntis 300
Attolight定量CL-SEM系統(tǒng)提供 “不折不扣”大視場快速掃描的同時獲取SEM圖像、高光譜CL圖像和光學光譜。較小直徑的晶圓,或形狀混雜的襯底被手動加載到300mm的中間感受器上,然后儀器自動處理。
Santis 300全晶圓工業(yè)CL-SEM系統(tǒng)是全晶圓陰極發(fā)光顯微鏡,可以完全自動化控制150、200和300毫米晶圓。
1、控制可以達到300毫米的晶圓
2、高效的CL-SEM掃描成像效率
3、同時進行電鏡成像和光學信號采集
4、邊緣檢測,晶圓準確定位(優(yōu)于10μm)
5、對晶圓翹曲度自動映射和調(diào)整
6、S?ntis 300系統(tǒng)提供3種不同的采集模式,為不同的需求和應用量身定制:
a、 面掃描模式(FWBrush模式)
b、線掃描模式(AWPix模式)
c、多點掃描模式
一、工業(yè)市場應用:
1、GaN 及其應用: 高強度LED要求高發(fā)射效率和高可靠性。以汽 車應用為例,LED故障影響安全,危及人身安全;UVC LED 要求高的發(fā)射效率和高的發(fā)射均勻 性;LED故障會使人的生命處于危險之中,例如在滅菌和消毒應用中。
2、光子學:激光光子學
3、電力電子應用 GaN:電力電子應用需要更大的功率、更小和更輕 的包裝,例如物聯(lián)網(wǎng)或汽車應
4、II-VI族材料:GaAs 及其應用: 太陽能, 電力電子;電力電子SiC ;μLED
二、其他應用舉例:
1、微觀結構發(fā)光二極管(MicroLed)
2、LED質量控制
3、GaN中的螺紋位錯缺陷計數(shù)
4、碳化硅襯底質量控制